三維形貌儀是一種科學(xué)儀器,是用來(lái)偵測并分析現實(shí)世界中物體或環(huán)境的形狀(幾何構造)與外觀(guān)數據(如顏色、表面反照率等性質(zhì))??煞譃榻佑|式、非接觸式、激光等類(lèi)型。
三維形貌儀的應用有三維表面輪廓測量、粗糙度測量、膜的臺階高度測量、空間分析和表面紋理表征、曲率測量、二維薄膜應力測量、表面質(zhì)量和缺陷檢測等。
三維形貌儀的幾大校準方法:
1.三維形貌校準
這一校準都和形貌測量的“高度”結果相關(guān),所以稱(chēng)為三維校準。主要包括對干涉物鏡參考面形貌誤差的標定;以及使用標準臺階塊對臺階高度測試精度校準。
2.二維光強校準
這一校準和成像視場(chǎng)范圍內的“光強”信號相關(guān)。設備有一些功能,可以增強用戶(hù)對樣品表面觀(guān)察效果。比如在某觀(guān)測模式下,可以自動(dòng)去除視場(chǎng)中黑白條紋,更清楚地觀(guān)測表面紋理;真彩模式可以復現表面彩色信息。
由于以上功能相關(guān)標定都只涉及“光強”,不涉及到形貌高度,所以稱(chēng)為二維光強校準。
3.橫向校準
這一校準是為了標定在當前設置下,每個(gè)像素在橫向上代表的尺寸大小。
三維形貌儀很多測試結果和分析設置,如溝槽寬度,孔徑尺寸,坡度斜率,空間濾波,拼接測量,都基于或和橫向尺寸相關(guān)。對于這些結果和分析,橫向尺寸的標定是至關(guān)重要的。